Los blancos de pulverización catódica de aleación de molibdeno (10%) y niobio tienen amplias perspectivas de aplicación en células solares y pantallas de película delgada. Sin embargo, debido a la absorción de oxígeno por el polvo de niobio durante la sinterización, la pieza bruta de molibdeno-niobio sinterizada tiene un alto contenido de oxígeno y baja densidad. Esta vez, se preparó polvo de niobio con revestimiento de carbono de niobio mediante reacción química de vapor en atmósfera de CH4.
La capa de carbono de niobio no solo ayuda a prevenir la absorción de oxígeno, sino que también puede consumirse completamente al reaccionar con el oxígeno a la temperatura requerida.
Se estudiaron los efectos del método de preparación, el medio de reacción y los parámetros de reacción sobre el rendimiento de la capa de carbono de niobio, y las condiciones óptimas del proceso se determinaron de la siguiente manera: temperatura 600 grados, tiempo de reacción 270 min y presión de gas 0,04 mpa.
La morfología de la superficie, la composición química, la distribución y la uniformidad del recubrimiento se caracterizaron mediante microscopía electrónica de barrido, espectroscopia fotoelectrónica de rayos X, microanálisis de sonda electrónica, espectroscopia Raman y microscopía de fuerza atómica.
Los contenidos de oxígeno y carbono se determinaron mediante analizadores ONH y CS. El polvo de niobio modificado superficialmente se mezcló con polvo de molibdeno y se sinterizó al vacío para obtener un blanco de Mo-10%Nb con un contenido de oxígeno de 190 ppm, un contenido de carbono de 290 ppm y una densidad relativa del 93 %.
Usos de los objetivos de niobio
Los blancos de pulverización catódica de niobio, como componente clave del niobio y sus películas de aleación, se utilizan ampliamente en entornos resistentes a la corrosión, como células solares, pantallas LCD TFT a color, lentes ópticas, imágenes electrónicas, almacenamiento de información, recubrimientos de vidrio, así como transporte, producción química, etc.
En la actualidad, los blancos de pulverización catódica de niobio se utilizan principalmente en recubrimientos de superficies de pantallas táctiles avanzadas, pantallas planas y vidrios de ahorro de energía. Tiene un efecto antirreflejo en las pantallas de vidrio.
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