Como todos sabemos, uno de los indicadores clave de desempeño del objetivo es la pureza. Los requisitos de pureza del objetivo difieren en las aplicaciones prácticas. El uso de material objetivo de titanio de alta pureza es más caro y tiene una ventana de aplicación más pequeña que el titanio puro industrial típico. Se utiliza principalmente para satisfacer las necesidades de unos pocos sectores especializados. ¿Cuáles son entonces? ¿Cuáles son los usos principales de los objetivos de titanio de alta pureza?
Las dianas de titanio de alta pureza se utilizan principalmente para:
1. Componentes biológicos
Dado que el titanio no es magnético, un campo magnético fuerte no provocará que se magnetice. Funciona bien con el cuerpo humano y no tiene efectos secundarios negativos. Puede utilizarse para crear implantes para cuerpos humanos. Sin embargo, dada la disolución de impurezas en el titanio, la pureza del titanio para implantes debe ser tan alta como sea práctica. En general, los materiales de titanio para uso médico no alcanzan el nivel de titanio de alta pureza. Los flejes biológicos se pueden fabricar con alambre de titanio de alta pureza. La aguja de inyección de titanio incorporada en el catéter también ha alcanzado el nivel de titanio de alta pureza.
2. Materiales para la decoración
El titanio de alta pureza mantiene su tono natural original incluso después de una exposición prolongada a la atmósfera gracias a su alta resistencia a la corrosión atmosférica. Como resultado, los materiales para la ornamentación arquitectónica también se pueden fabricar con titanio de alta pureza. Además, en los últimos años, el titanio se ha utilizado para fabricar varios accesorios y prendas de vestir de lujo, incluidas pulseras, relojes y monturas de gafas. El titanio se utiliza porque es resistente a la corrosión, no cambia de color, puede conservar un buen brillo durante un período muy prolongado y no irrita la piel humana cuando entra en contacto con él. El nivel de pureza 5N del titanio utilizado en Se han logrado algunos adornos.
3. Recolector de materiales
El titanio es un metal particularmente reactivo con características químicas que le permiten interactuar con una amplia variedad de sustancias a altas temperaturas. Se produce una fuerte adsorción activa de gases en la superficie del titanio de alta pureza, incluidos O2, N2, CO, CO2 y vapor de agua. Más de 650 grados. En la pared de la bomba, la película de Ti que se evapora puede crear una superficie con una alta capacidad de adsorción. Debido a esta característica, el Ti se utiliza con frecuencia como captador en sistemas para bombear vacíos extremadamente altos. La presión operativa máxima de la bomba de iones de pulverización catódica puede ser tan baja como 10-9Pa cuando se utiliza en bombas de sublimación, bombas de iones de pulverización catódica, etc.
4. Medios informativos en formato electrónico.
El uso de titanio de alta pureza en objetivos de pulverización catódica, circuitos integrados, DRAM y pantallas planas se ha ampliado recientemente como resultado de la rápida expansión de las industrias de alta tecnología en áreas como la tecnología de semiconductores y la tecnología de la información. Avanzar. Como barreras de difusión y materiales de cableado para electrodos de control en la industria de semiconductores VLSI, compuestos de silicio de titanio, compuestos de nitrógeno de titanio, compuestos de titanio de tungsteno, etc. Estos materiales se producen mediante la técnica de pulverización catódica, que requiere un objetivo de titanio con un alto grado de pureza, particularmente para elementos de metales radiactivos y alcalinos.
Recientemente, también se ha comenzado a utilizar titanio de alta pureza que coincide con la pureza del objetivo de titanio utilizado en el proceso de pulverización catódica. Actualmente, la pureza del titanio debe ser al menos 4N5 (99,995%) o 5N (99,999%) para VLSI de 4 Mbit. mientras que debe ser al menos 6N (99,9999%) para VLSI de tercera generación de 16 Mbit.
