En este artículo se analizará el impacto de la unión del objetivo y la calidad del revestimiento en el recubrimiento de áreas grandes. Algunos materiales con baja tenacidad, como metales, aleaciones y óxidos que son propensos a agrietarse, se verán afectados durante el proceso de recubrimiento. El objetivo giratorio suele estar unido al revestimiento de acero inoxidable durante la preparación, y el objetivo normalmente está unido a la placa de soporte de cobre cuando se produce una fisura. El indio metálico u otros compuestos metálicos son el ingrediente aglutinante más utilizado.
Puede ayudar con algunos problemas relacionados con la falta de resistencia mecánica del material objetivo, además de evitar la ruptura inadvertida del material objetivo durante el transporte. Para abordar el problema de la utilización limitada de objetivos de gran tamaño, estas técnicas implican empalmar objetivos con la placa trasera. Esto puede garantizar el contacto eléctrico y el enfriamiento adecuados del material del objetivo, así como proteger contra grietas y salpicaduras irregulares.
Una conductividad térmica desigual dará como resultado una pulverización irregular del material objetivo (formación de película desigual), al igual que nódulos superficiales y fenómenos de descarga. Además, la formación de película desigual dará como resultado un color de capa de película desigual, lo que afectará cómo cambia la capa dieléctrica dependiendo del producto final. Obviamente, aumente el número de rechazos de recubrimiento. Como resultado, las propiedades de unión del material objetivo afectan en gran medida su uso. Debido a la interacción entre la expansión y contracción térmica del material objetivo y el coeficiente de expansión térmica del tubo de acero inoxidable, la geometría El tamaño de algunos objetivos giratorios de metal o aleaciones que tienen buena conductividad térmica pero que no requieren unión, como los objetivos de ZnAl, ZnSn y SiAl, aumenta con la temperatura.
El coeficiente de regularidad del cambio y el cambio difieren entre sí, por lo tanto, se deben usar ciertos materiales de conexión para la unión. Si la mezcla es pobre, el material objetivo se calentará de manera desigual, se impedirá la conducción del calor y se agrietarán y caerán. ocurrir. Estos problemas tendrán un impacto en la calidad del recubrimiento y su capacidad para producir bienes.
En general, el material cerámico objetivo tiene una mala disipación de calor debido a la alta generación de calor del material objetivo durante el proceso de pulverización catódica. Es sencillo generar calor local durante el proceso de pulverización catódica si la unión tiene un área grande y la unión es deficiente. El indio, un material aglutinante de bajo punto de fusión, se acumula y se funde, lo que hace que el material objetivo se agriete o incluso se desprenda.
El recubrimiento del objetivo depende en gran medida de la unión del material del objetivo y del calibre del tubo de revestimiento. Esto requiere, además de estar alerta, la profesionalidad del equipo para permitir el depósito de una película eficaz.
