Debido a que el molibdeno tiene las características de alto punto de fusión, alta conductividad eléctrica, baja impedancia específica, buena resistencia a la corrosión y protección ambiental,objetivos de molibdenoson ampliamente utilizados en la industria electrónica, como electrodos para pantallas planas, células solares de película delgada y accesorios. Información de línea, ahora permita que Xiaobian y usted conozcan las características de los objetivos de molibdeno en productos de tungsteno y molibdeno.
1. Objetivo de molibdeno de alta pureza
En general, la pureza del objetivo de pulverización catódica de molibdeno debe ser al menos del 99,95 por ciento. Sin embargo, con la mejora continua del tamaño de los sustratos de vidrio en la industria de LCD, y de acuerdo con el tamaño de los sustratos de vidrio pulverizados y el entorno de aplicación, se requiere que la pureza de los objetivos de pulverización catódica de molibdeno sea del 99,99 por ciento -99. 999 por ciento o incluso más.
2. Objetivo de molibdeno de alta densidad
En el proceso de recubrimiento por pulverización catódica, cuando se bombardea el objetivo de pulverización catódica con baja densidad, debido a la liberación repentina de gas existente en los poros del material objetivo, se forman partículas objetivo a gran escala o partículas para salpicar, o el material de la película es sujeto a daño secundario después de la formación de la película. El bombardeo de electrones secundarios forma una salpicadura de partículas, cuya presencia puede degradar la calidad de la película. Para reducir los poros en el sólido del material objetivo y mejorar el rendimiento de la película, generalmente se requiere que el material objetivo de bombardeo iónico tenga una densidad más alta.
3. Tamaño de grano
En general, el objetivo de pulverización catódica de molibdeno tiene una estructura policristalina y el tamaño del grano puede oscilar entre micrómetros y milímetros. Los estudios experimentales han demostrado que la tasa de pulverización del objetivo de grano de molibdeno a microescala es más rápida que la del grano grueso, y el objetivo con una diferencia menor en el tamaño de grano de molibdeno tiene una distribución de espesor más uniforme de la película depositada.
4. Dirección de cristalización
Dado que los átomos del objetivo simplemente se pulverizan en la dirección de una disposición estricta hexagonal de átomos durante la pulverización, para lograr la tasa de pulverización, la tasa de pulverización a menudo se incrementa cambiando la estructura cristalina del objetivo. La dirección cristalográfica del objetivo también tiene una gran influencia en la uniformidad del espesor de la película pulverizada. Por lo tanto, la obtención de una estructura objetivo con una determinada orientación cristalográfica es crucial para el proceso de pulverización catódica de películas delgadas.
5. Conductividad térmica
Los fabricantes de productos de tungsteno y molibdeno le informan que el objetivo de pulverización catódica de molibdeno debe estar conectado al chasis de cobre libre de oxígeno (u otros materiales como el aluminio) antes de la pulverización catódica para que la conductividad térmica entre el objetivo de molibdeno y el chasis pueda garantizarse durante el proceso de pulverización. Después de la unión, es necesario pasar la inspección ultrasónica para garantizar que el área no adherida de los dos sea inferior al 2 por ciento, a fin de cumplir con los requisitos de pulverización catódica de alta potencia sin caerse.
6. Desempeño objetivo de molibdeno
Pureza: molibdeno puro mayor o igual al 99,95 por ciento, molibdeno de alta temperatura mayor o igual al 99 por ciento (agregar elementos de tierras raras)
Densidad: mayor o igual a 10,2 g/cm3
Punto de fusión: 2610 grados
Especificaciones: objetivo redondo, objetivo de placa, objetivo giratorio
El entorno adecuado para el objetivo de molibdeno producido por Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. es un entorno de vacío o un entorno de protección de gas inerte. El contenido de molibdeno puro en los productos de molibdeno que ofrecemos es alto, la resistencia a altas temperaturas es de 1200 grados y la resistencia a altas temperaturas de la aleación de molibdeno es de 1700 grados. Los objetivos de molibdeno producidos por nuestra empresa son de alta calidad, precio razonable y entrega rápida.
