¿Qué tipos de materiales de destino existen? Primera parte

¿Cuales son los materiales objetivo?

El objetivo es en realidad un concepto amplio. Existen tres formas de clasificar los materiales objetivo:

1. Según las dimensiones externas, se puede dividir en objetivos cilíndricos, rectangulares, de placa cuadrada y de tubo. Según el material, los materiales del objetivo se pueden dividir en objetivos metálicos, objetivos no metálicos de cerámica polimérica y objetivos de aleación, etc.

2. Según el material, los materiales objetivo se pueden dividir en objetivos de metales convencionales, objetivos de metales preciosos, objetivos de metales de tierras raras, objetivos no metálicos, objetivos de pulverización catódica de aleaciones, objetivos de pulverización catódica de cerámica, etc.

3. Según el campo de aplicación, se puede dividir en objetivos para semiconductores, objetivos para paneles de visualización, objetivos para células solares, objetivos para grabación magnética, etc.

Clasificación según la forma del objetivo

Los objetivos comunes son en su mayoría objetivos cuadrados y objetivos redondos, que son objetivos sólidos. En la operación de recubrimiento, el campo magnético generado por el imán permanente circular en la superficie del objetivo es anular, se producirá una erosión desigual, la uniformidad del espesor de la película pulverizada no es buena y la eficiencia de utilización del objetivo es solo de alrededor del 20% al 30%. El objetivo de tubo hueco que se está promocionando actualmente puede girar alrededor de un conjunto de imán de barra fijo durante un cierto período de tiempo, y la superficie del objetivo de 360 ​​grados se puede grabar de manera uniforme, lo que tiene ventajas obvias y aumenta la tasa de utilización al 80%.

Clasificación por material de destino

Objetivos metálicos convencionales: