Las mayores fábricas de objetivos de pulverización catódica del mundo producen actualmente objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio mediante dos procesos separados. formado mediante moldeo por pulverización. Según técnicas reconocidas de fundición y forjado, la adición de materiales de aleación durante la producción de objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio frecuentemente da como resultado la segregación de los objetivos, lo que a su vez reduce la calidad de las películas de pulverización catódica y es probable que se formen micropartículas. en la superficie del objetivo de pulverización, lo que también alterará la uniformidad con la que se distribuyen las características de la película.
Aunque se pueden evitar los problemas relacionados enumerados anteriormente, si el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio se fabrica utilizando el proceso de formación por pulverización conocido, seguirá produciendo el objetivo de pulverización catódica. El costo de producción aumenta significativamente, particularmente cuando se fabrican algunos objetivos de pulverización catódica que son difíciles de forjar y requieren el uso de ecualización en caliente.
Esta técnica utiliza polvo de pulverización de gas para crear objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio, lo que hace que la producción de objetivos de aleación de titanio y aluminio sea más sencilla y menos costosa. El polvo de aleación se tamiza en comparación con el polvo de materia prima del objetivo de pulverización catódica para obtener el tamaño de partícula de polvo correcto, y luego el polvo se prensa en caliente al vacío para crear el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio. La creación de diferentes objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio (aluminio- cromo, aluminio-silicio-cobre, aluminio-titanio, etc.) se pueden lograr utilizando este método de producción de objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio con polvo pulverizado con aire.
El procedimiento recomendado para su implementación es proporcionar primero materias primas metálicas para fabricar objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio y fundirlas hasta obtener metal fundido; a continuación, haga polvos metálicos a partir del metal fundido utilizando el método de pulverización de gas; y finalmente calentar los polvos metálicos al vacío. formado en una aleación de aluminio que chisporrotea y pasa a través de un gas inerte como gas protector. Este proceso puede producir objetivos de chisporroteo de alta calidad de manera más rápida y asequible, evitando al mismo tiempo los inconvenientes de la segregación de materiales y las micropartículas.
