Blanco de niobio planar

Los objetivos de bombardeo iónico requieren una composición homogénea, un tamaño de partícula adecuado y una orientación cristalográfica específica, y los altos requisitos de estos objetivos de bombardeo iónico están destinados a lograr una tasa de deposición de película uniforme en todo el sustrato. Los objetivos de niobio se utilizan principalmente en materiales de ingeniería de superficies, como pantallas de cristal líquido, químicas y marinas, y en industrias de revestimiento como resistencia al calor, resistencia a la corrosión y alta conductividad. Un objetivo de niobio plano es un objetivo de niobio con un diámetro mayor o igual a 150 mm, que generalmente se denomina objetivo desnudo, y el usuario lo suelda primero con un objetivo posterior de cobre o aluminio cuando lo usa, y luego chisporrotea para depositar átomos de niobio. en el material del sustrato para lograr el recubrimiento por pulverización catódica. Para lograr la uniformidad del recubrimiento, el objetivo plano de niobio debe triturar los cristales de fundición del lingote de niobio para garantizar que la estructura interna del objetivo de niobio esté completamente recristalizada, el tamaño de grano sea inferior a 100 μπι y sea uniforme.

Nuestra empresa proporciona un nuevo método de preparación, que incluye los siguientes pasos: los lingotes de niobio se forjan de forma radial y cuadrada, los lingotes de niobio forjados se decapan y los lingotes de niobio decapados se tratan con calor; Luego, los lingotes de niobio se aplanan y forjan, los lingotes de niobio forjados se decapan y los lingotes de niobio decapados se tratan térmicamente; Finalmente, los lingotes de niobio se laminan para obtener un objetivo de niobio plano.

En el proceso de preparación de un objetivo de niobio, el proceso de forja es una combinación de forja cuadrada radial, alargamiento axial y aplanamiento, de modo que la región cristalina columnar en el lingote de niobio, la región cristalina equiaxial central y la vecindad del borde de el lingote de niobio, el flujo de metal de la parte central del blanco aumenta, la irregularidad de la estructura central se mejora significativamente, y la estructura de cristal grueso fundido original se rompe completamente en múltiples direcciones bajo la fuerza multidireccional, promoviendo así el lingote de niobio para obtener una estructura de grano relativamente uniforme. Evita la presencia de tejidos nocivos como el tejido de "banda de cristal" y el tejido cristalino grueso dejado por la parte central sin fragmentación efectiva; En la etapa de laminación, la deformación de los lingotes de niobio es más uniforme, y después del procesamiento, con el proceso de tratamiento térmico intermedio, la estructura del material del objetivo de niobio es cada vez más homogénea y refinada, y finalmente, un objetivo de niobio plano de estructura cristalina equiaxial. con una estructura uniforme y un tamaño de grano inferior a 100 μm. Por lo tanto, mediante este método de preparación se obtuvo una estructura cristalina equiaxial con un tejido uniforme y un tamaño de grano de menos de 100 μπι.

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