Objetivo de pulverización Ta

Proceso de producción objetivo de pulverización catódica de tantalio metálico de Yusheng
Los productos objetivo de pulverización catódica de tantalio de Yusheng Metal se procesan a partir de lingotes de tantalio mediante procesos de recocido, laminado y bombardeo de electrones EB. Los objetivos fabricados mediante este proceso tienen una estructura cristalina, textura y distribución de energía uniformes, y una buena estructura interna.

En los últimos años, la escala de la industria de los circuitos integrados (CI) ha seguido expandiéndose y la tecnología de proceso de chips también se ha desarrollado hacia la alta densidad. El tantalio se utiliza a menudo como material de recubrimiento por pulverización catódica para la capa de barrera de difusión en el proceso de conexión de cobre debido a su fuerte estabilidad química. La microestructura uniforme de los objetivos de pulverización catódica de tantalio tiene un impacto directo en el rendimiento de la pulverización catódica.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/DAKOTA DEL NORTE). Cuando se fabrican películas delgadas, la velocidad de pulverización catódica cambia según el espesor objetivo, lo que afecta la estabilidad del proceso de pulverización catódica.

Principio del objetivo de pulverización ta

El tantalio se utiliza a menudo en la producción de condensadores electrolíticos debido a su capacidad para formar óxidos finos y la naturaleza protectora de la capa de óxido. La evaporación se utilizó en las primeras etapas de la deposición de tantalio, pero a medida que las técnicas físicas de deposición de vapor, como el recubrimiento por pulverización catódica, surgieron a fines de la década de 1960 como métodos superiores para la deposición de películas delgadas, reemplazaron a la evaporación.

En el proceso de deposición física de vapor, los átomos de argón ionizados utilizan mecánica electromagnética para impactar el objetivo, derribando los átomos del metal objetivo, y los átomos del metal objetivo se depositan sobre el sustrato para formar una película delgada.

objetivo de pulverización de tantalio

objetivo de tantalio

Equipos de producción de metales Yusheng.

Yusheng Metal tiene un conjunto completo de sistemas de investigación científica, producción, pruebas, ventas y servicios desde fundición, forja, laminación en caliente, laminación en frío y acabado hasta materiales terminados. Tiene un horno de bombardeo este electrónico de 350 KW, una prensa hidráulica de 2000 T, un horno de recocido al vacío de 1700 mm y una máquina de forja de precisión de 42 KW y dos de 15 KW, 14 laminadores de tiras de acabado, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 laminador de tubos de doble línea, 2-rollo de corte 500T, 4 laminadores en frío, 6 laminadores en frío, trefiladora de doble cara de 15 KW, amoladora cilíndrica, peladora, amoladora de superficie y una serie de equipos.

Aplicación del objetivo de pulverización catódica de tantalio.

El material objetivo de pulverización catódica de tantalio está hecho de láminas de tantalio procesadas a presión y tiene las características de alta pureza, granos finos, buena estructura de recristalización y buena consistencia de tres ejes.
Los objetivos de pulverización catódica de tantalio se utilizan ampliamente en las industrias optoelectrónica y de semiconductores. Se utilizan principalmente para la deposición por pulverización catódica de recubrimientos por pulverización catódica, materiales activos de succión de alto vacío, fibras ópticas, obleas semiconductoras, circuitos integrados, etc. Son una parte importante de la tecnología de película delgada.

 

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.es un proveedor global de piezas de procesamiento de oro raro de tantalio, niobio, vanadio, circonio y hafnio. Produce principalmente alambres, varillas, placas, tubos, anillos, crisoles, etc. y otras piezas de procesamiento especiales no estándar. Publicaremos periódicamente información relacionada con los productos y disciplinas de materiales de nuestra empresa, que cubrirá toda la cadena de investigación y desarrollo de tecnología de materiales, industrialización de logros materiales, aplicación y promoción de productos materiales, aglomeración de la industria de materiales y ecología de la industria de materiales. Le invitamos a contactarnos en cualquier momento.

 

 

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